磨CVD/金剛石復合片/半導體硅片專用東巨1A1平面磨陶瓷金剛石砂輪
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磨CVD、金剛石復合片、半導體硅片專用 東巨1A1 平面磨陶瓷金剛石砂輪
1A1-150D*10T*31.75H*5X SDC150N150VDF
1A1平行150mm陶瓷金剛石砂輪
陶瓷結合劑金剛石砂輪有高強度,耐熱性能好,切削鋒利,磨削效率高,磨削過程中不易發熱和堵塞,熱膨脹量小,易控制加工精度。同樹脂結合劑金剛石砂輪相比,它解決了樹脂金剛石砂輪的低壽命,磨削效率低,磨具本身在磨削過程中易變形的問題 。
特點
1A1平面磨陶瓷結合劑金剛石砂輪具有金剛石和陶瓷結合劑的共同特點:
①與普通剛玉、碳化硅砂輪相比,它的磨削力強,磨削時溫度比較低,砂輪磨損比較小;
②可以適應各種冷卻液的作用;
③磨削時砂輪的形狀保持性好,磨出工件的精度高;
④砂輪內有較多的氣孔,磨削時有利于排屑和散熱,不易堵塞、不易燒傷工件;
⑤砂輪的自銳性比較好,修整間隔的時間長,修整比較容易。
因此陶瓷結合劑金剛石砂輪在國外一些發達國家的使用日益增多。
優點
平行陶瓷金剛石砂輪磨削時,具有以下優點;
1)磨削效率高;
2)具有很高的耐磨性:砂輪的耐磨性高,磨粒消耗少,特別是在磨很硬又很脆的工件時最明顯;
3)磨削力小,磨削溫度低;
4)磨削的工件精度高、表面質量好,工件的形狀保持性好。
因此陶瓷結合劑金剛石砂輪在陶瓷等一些特殊材料的磨削加工中,具有越來越明顯的優勢,在金剛石砂輪的發展中有著良好的前景。被認為是高速、高效、高精、低磨削成本、低環境污染的高性能砂輪,具有越來越廣泛的應用,是近來世界各國磨削工具競相研究開發的熱點。
陶瓷SDC砂輪應用領域
隨著科學技術的發展,新型材料不斷增長,機械加工向高質量、高精度、高效率、自動化方向的不斷發 展,陶瓷SDC砂輪的應用范圍越來越廣,用量不斷增加。陶瓷結合劑金剛石砂輪主要應用在晶圓(半導體硅片和太陽能硅片),金剛石復合片,金剛石聚晶,金剛石刀具,立方氮化硼,鎢鋼(硬質合金),新型工程結構陶瓷,寶石,水晶,稀土材料(磁性材料)等高硬脆材料的機械加工中,并取得了良好的經濟效益。
金剛石刀具主要集中在PCD復合片、化學氣相沉積(CVD)涂層刀具和單晶金剛石刀具等方面。選擇合理的工藝參數,陶瓷結合劑金剛石砂輪研磨單晶金剛石,研磨效率比金屬結合劑砂輪高,磨耗比非常小,加工成本低,因此采用陶瓷結合劑砂輪研磨單晶金剛石,可極大的提高破天研磨效率。在磨削PCD刀具方面,由于樹脂結合劑較軟,磨削時容易變形,不能有效地磨削PCD刀具;金屬結合劑由于對磨粒的結合能力太強而使磨具自銳性差,磨削效率低,而且金屬結合劑砂輪會造成PCD刀具邊緣產生最最嚴重的破壞;綜合磨削效率、磨具耐用度及工件表面的加工質量,陶瓷結合劑金剛石砂輪是磨削PCD刀具的最合適選擇。
細粒度陶瓷結合劑金剛石磨具用于對鉻淬火鋼軸承滾柱做精密尺寸加工。
陶瓷結合劑金剛石磨具用于對汽車、拖拉機曲軸、液壓泵齒輪頸做精密加工。
有較好韌性的陶瓷結合劑金剛石砂輪用于對電視機顯像管螢光屏做粗磨和精磨。用陶瓷結合劑金剛石砂輪加工集成電路用高性能硅片,加工精度高,加工粗糙度低,且磨后硅片無金屬離子污染,加工產品的合格率高。
性能分析
⑴陶瓷材料由于其自身的優良性能,如高硬度,高耐磨性,耐高溫性,抗腐蝕性,高剛度重量比,低密度和極強的化學惰性等,使其在科學和工業中的應用日益廣泛。
⑵ 單晶體廣泛用高溫超導、薄膜基片、激光零件,這些新型材料的使用,由于性脆,加工時易產生裂紋,往往也伴隨著大量的加工問題。
⑶金剛石是自然界中最硬的材料,用它制成的砂輪解決了玻璃、陶瓷等高硬度材料的加工問題。對于新發展的氮化硅等工程陶瓷,用樹脂或金屬結合劑金剛石砂輪進行磨削時,容易出現結合劑對磨粒的把持力不夠,磨耗增大;或結合劑的韌性過大,砂輪中氣孔少,磨削力下降,砂輪磨鈍后難以修整等,使整個磨削加工比較困難。
⑷陶瓷結合劑是陶瓷質或玻璃質的,結合劑剛性好,能耐高溫,磨削時適于精修整,不會產生讓刀現象。且陶瓷結合劑對磨粒粘附力強,棱角保持性能好,能進行高精度磨削。
⑸陶瓷結合劑金剛石砂輪在制造過程中可以進行硬度和氣孔上的調整,有利于磨削性能的提高,通過合理配比及生產控制,不會產生變形,這一點也是使砂輪加工精度高的原因。
粒度目數對照
國產粒度 | 日本目數# |
w3.5 | 6000 |
w5 | 4000 |
w10 | 1800 |
w20 | 1000 |
w28 | 700 |
w40 | 450 |
w50 | 400 |
325/400 | 320 |
270/325 | 280 |
230/270 | 240 |
200/230 | 200 |
170/200 | 170 |
140/170 | 150 |
120/140 | 120 |
100/120 | 100 |
80/100 | 80 |