北京賽米萊德貿易有限公司
主營產品: 其他電工電氣輔材
紫外光刻膠品牌-光刻膠品牌-Futurrex-雙層光刻膠公司
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光刻膠存儲條件及操作防護
光刻膠是一種可燃液體,儲存條件應符合對應的法規,不要與強氧化劑混合,存放在通風良好的地方,保持容器密閉,避免吸入蒸汽或霧氣,避免接觸眼睛、皮膚或衣服,操作后徹底清洗。
個人防護
眼睛:佩戴化學飛濺護目鏡。
皮膚:戴上適當的防護手套防止皮膚暴露。
服裝:穿戴合適的防護服防止皮膚暴露。
呼吸器:無論何時在工作環境下呼吸保護必須遵循中國職業安全健康管理局標準的規定和ANSI美國國家標準學會Z88.2的相關要求,或必須執行歐洲呼吸防護EN 149的標準。
NR77-20000P
正膠PR1-2000A1技術資料
正膠PR1-2000A1是為曝光波長為365 或者436納米,可用于晶圓步進器、掃描投影對準器、近程打印機和接觸式打印機等工具。PR1-2000A1可以滿足對附著能力較高的要求,在使用PR1-2000A1時一般不需要增粘劑,如HMDS。
相對于其他的光刻膠,PR1-2000A1有如下的一些額外的優勢:
PEB,不需要后烘的步驟;
較高的分別率;
快速顯影;
較強的線寬控制;
蝕刻后去膠效果好;
在室溫下有效期長達2年。
光刻膠的概述
光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,它受到光照后特性會發生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。
光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形;而負膠卻恰恰相反,經過曝光后,受到光照的部分會變得不易溶解,經過顯影后,留下光照部分形成圖形。
負膠在光刻工藝上應用早,其工藝成本低、產量高,但由于它吸收顯影液后會膨脹,導致其分辨率(即光刻工藝中所能形成圖形)不如正膠,因此對于亞微米甚至更小尺寸的加工技術,主要使用正膠作為光刻膠。