主動隔震臺-減振臺-防震臺-主動式隔振臺-Table Stable 

品牌：HERZ

型號：AVI-400

描述：主動隔震臺-減振臺-防震臺-主動式隔振臺-Table Stable 是一款緊湊型模塊化的主動隔振系統，可在寬頻率范圍內為電子顯微鏡和類似的大型研究儀器提供業界領先的主動隔振性能（從0.5 Hz開始）。AVI系列平臺通過消除影響測量的破壞性低頻振動噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺采用了低調的模塊化設計，無需為大多數儀器（包括大多數SEM）安裝所需的升降設備，從而簡化了安裝過程。適用于各類大型電子顯微鏡AEM\SEM\ATM\TEM,干擾儀防震臺，輪廓儀防震臺，電子太平防震臺，超快激光系統防震臺，時頻系統防震臺，大型半導體設備防震臺，激光設備主動防震！

工作原理：

安裝有測量和制造設備的地板或多或少會有振動。如果這些振動對設備造成不利影響，最有效的解決方案則是使用隔振臺（減振臺），以便營造最適合該設備的條件。主動隔振臺使用電氣控制，通過對傳入振動施加反方向的力來立即消除振動。傳感器不斷監測振動，并基于該信息，執行器沿相反方向產生作用力，并繼續產生最佳的振動隔離狀態。主動式隔振臺擅長于10Hz以下的低頻范圍內的隔振。AVI系列主動隔振臺采用先進的隔振技術，適用于任何研究情況下，可以隔離6個自由度方向上的振動，包括水平和垂直方向。AVI系列平臺利用控制器內的壓電加速度傳感器來傳感外界傳入的振動，通過將外界的壓力信息轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，然后改換能器產生一個與傳入壓力大小相等，相位相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統利用一個反饋回路來消除隔振系統的機械共振。可為實驗室中對震動敏感的設備如電鏡，光學器件等精密儀器隔離來自地面的震動，提供穩定的測試環境。

產品亮點： 

六個空間方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主動隔振, >200Hz被動隔振)                                                                            

5-20ms響應時間                                                                   

低頻隔振性能優異,安裝和使用簡單

系統主動檢測輸入振動并動態消除

緊湊、模塊化的多功能設計

穩定性高，能無故障連續使用多年

無低頻共振、無空氣要求

應用范圍：

超高真空掃描探針顯微鏡（UHV-SPM）

光刻工具

高精度計量工具

光譜儀器

升級選項：

可與LFS低頻穩定器配套使用來增強低頻隔振效果，隔振頻率低頻段延伸至0.5Hz。

技術參數：

型號：AVI-400M/LP

系統配置：獨立隔振裝置 & 控制裝置

主動隔振范圍：大致為1.0 Hz - 200 Hz

被動隔振范圍:大致為200 Hz以上

顯示屏信號:多路復用信號用于示波器顯示器包含和不含隔振的振動水平。

LEDs 指示輸出階段的過載情況。

單元尺寸(每個):190 x 720 x 112.5 Hmm

控制器尺寸:241 x 287 x 142 Hmm

隔振單元重量: 20kg

負載能力:800 kg (同等/低重心)

輸入電壓: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz

功耗：通常18W

校正力：水平最大8N，垂直最大16N

系統噪音：0.1-200Hz任何方向上低于50nG/√Hz

靜態柔度：垂直約1.7 μm/N，水平約3.4 μm/N

溫度范圍：5℃ - 40℃

相對濕度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)

室內/室外使用：僅用于室內

隔振效果：

性能對比圖：SEM的研究人員在兩種獨特條件下進行成像：不含隔振系統和包含AVI系列隔振臺。當使用AVI系列隔振臺搭載SEM時，所得圖像表明圖像質量和整體測量清晰度得到大幅提升。

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