OPEN SYS系列全開放的顯微測試加工平臺
開放式掃描探針顯微鏡

單一探頭的多功能平臺結構，集成掃描隧道(STM)、原子力(AFM)、摩擦力(LFM)和靜電力顯微鏡(EFM)功能，工作模式包括接觸、輕敲、相移成像等

獨特的探針類型和掃描器的編碼——智能識別技術，全數字控制的參數設置和采集

數字控制反饋回路，16-bit分辨的A/D和D/A

采用單一的外觸發時基和高速緩存，實現多通道信號的高速同步采集

采用基于TCP/IP協議的高速通信接口，實現雙處理器——雙操作系統的協同工作和大容量高速數據交換，使系統具有極大的開放性

系統內部預留多個可供輸入/輸出信號的處理通道，具有方便的擴展能力

系統外部預留標準開放接口，滿足用戶對儀器進行二次開發的需求

具有I-V曲線和力曲線等測量分析功能

具有圖形刻蝕模式和矢量掃描模式的納米加工技術

具備超媒體用戶界面的納米操縱工具

用戶控制端軟件兼容Windows 9X/ME/NT/2000/XP/7/8/10操作系統

分析處理軟件在數據類型識別方面采用固定編碼和動態編碼兩種技術，實現系統的開放性和可擴展性

掃描區域多種分辨率選擇及高度、對比度的實時調整，可連續采集、存儲和重現動態過程

實時定點測試功能

方便的鼠標控制掃描區域平移、剪切功能，掃描角度連續可調，多種樣品傾斜度實時校正功能

樣品粒度和粗糙自動分析功能

分辨率： STM：橫向 0.13nm  垂直 0.01nm（以石墨定標）    
                AFM：橫向 0.26nm  垂直 0.1nm （以云母定標）

電流檢測靈敏度：≤10pA

力檢測靈敏度：  ≤1nN

空間定位精度：  ≤0.5nm

預留輸出信號通道數：6ch   （1ch±200V，5ch±10V，16-bit DAC）

預留輸入信號通道數：16ch   （100kHz采樣率，16-bit ADC，帶可控低通濾波器和可控增益放大器）

預留頻率合成輸出： 2ch  （振幅為0～2V；頻率為DC～1000kHz，32-bit分辨）

集成STM、AFM和LFM等多種模式的掃描探頭  

在線控制/后處理軟件

主流配置微機，預裝Windows操作系統

1μm  ×  1μm Scanner

20μm × 20μm Scanner

50μm × 50μm Scanner（選配）

70μm × 70μm Scanner（選配）  

100μm×100μm Scanner（選配）

光學輔助顯微系統（選配）  

可附加第二顯示器（選配）