往復式真空泵(又稱活塞式真空泵)是干式真空泵；它是依靠汽缸內的活塞作往復運動來吸入和排出氣體的。

往復式真空泵有臥式和立式兩類。但常用的是臥式活塞真空泵；活塞真空泵又有單缸和雙缸之分。其排氣閥的結構有滑閥式和自由閥式。

往復真空泵的特點是，不怕水蒸氣，牢固，操作容易等。

極限真空度

但其極限真空度不太高：

如滑閥式單級真空泵的極限真空度，為1lTorr (1 Torr= 133. 321'a)滑閥式雙級真空泵的極限真空度，為0. 05- 0. 2Torr。

自由閥式單級真空泵的極限真空度，為1020Torr，往復式真空泵的抽速范圍，為45-20000立方每小時。

它主要用于從密閉容器中或反應釜中抽除空氣或其他氣體；

除非采取特殊措施，一般往復式真空泵不適用于抽除腐蝕性的氣體或帶有顆粒灰分的氣體；

其被抽氣體的溫度，一般不超過35度。

此外，在下列條件下使用真空泵時必須加裝附屬裝置：

（1）被抽氣體中含有灰塵時，在進氣管前必須加裝過毽器；

（2）被抽氣體中含有大量的蒸汽時，在進氣管前必須加裝冷凝器。

（3）被抽氣體中含有腐蝕性氣體時，在進入真空泵之前必須加裝中和裝置；

（4）被抽氣體的溫度超過35℃時。要加裝冷卻裝置；

（5）被抽氣體中含有大量液體時，在進氣管前必須加裝分離器；

（6）泵的啟動電流往往超過電機額定電流的數倍，所以必須配用相當的啟動開關。