一、高溫四探針測試儀產品簡介

高溫四探針測試儀器采用四探針雙電測量方法，適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。采用AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數據，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購。

雙電測數字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量。利用電流探針、電壓探針的變換，進行兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精度，也可應用于產品檢測以及新材料電學性能研究等用途。

HGTZ-800系統搭配Labview系統開發的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進行電壓、電流、溫度、時間等設置，符合導體、半導體材料與其它新材料測試多樣化的需求。

二、高溫四探針測試儀產品特點

高速加熱與冷卻方式

高能量的紅外燈和鍍金反射方式允許高速加熱到高溫。同時爐體可配置水冷系統，增設氣體冷卻裝置，可實現快速冷卻。

溫度高精度控制

過紅外鍍金聚焦爐和溫度控制器的組合使用，可以控制樣品的溫度（遠比普通加溫方式）。此外，冷卻速度和保持在任何溫度下可提供高精度。

不同環境下的加熱與冷卻加熱/冷卻

可用真空、氣氛環境、低溫（高純度惰性氣體，靜態或流動），操作簡單，使用石英玻璃制成。紅外線可傳送到加熱/冷卻室。

三、高溫四探針測試儀功能特點

1. 多功能真空加熱爐，一體爐膛設計、可實現、高溫、真空、氣氛環境下進行測試

2. 采用鉑材料作為導線、以減少信號衰減、提高測試精度；

3. 可以測量半導體薄膜材、薄片材料的方塊電阻、電阻率；

4. 可實現常溫、變溫、恒溫條件的1-V、R-T、R-t等測量功能；

5. 溫度傳感器、PID自動溫度控制，使測量溫度更精準；

6. 儀器可自動計算試樣的電阻率pV；

7. 10寸觸摸屏設計，一體化設計機械結構，穩定、可靠；

8. 程控電子升壓技術，紋波低、保證儀器安全性；

9. 99氧化鋁陶瓷絕緣、碳化鎢探針；

10. Ihuace pro強大的控制分析軟件。

四、高溫四探針測試儀軟件功能

HC5000系列測試系統的軟件平臺hacepro，采用labview系統開發，符合高分子材料性能的各項測試需求，具備強大的的穩定性與安全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復，兼容，XP、win7、win10系統。

多語介面：支持中文/英文 兩種語言界面；

即時監控：系統測試狀態即時瀏覽，無須等待；

圖例管理：通過軟件中的狀態圖示，立即對狀態說明，了解測試狀態；

使用權限：可設定使用者的權限，方便管理；

故障狀態：軟件具有設備的故障報警功能。

五、產品結構

整體為桌面型設計，采用紅外燈加熱，無保溫爐膛結構，滿足實驗室無灰塵排放的要求。

內置工控機、觸摸屏，可以利用工控機設定加熱曲線，并實現和其他測試設備的集成控

定點控溫模式下，可以將樣品10s內加熱到1000攝氏度。

控溫加熱下，可以5度/s速率下線性加熱到1000攝氏度。

在1000度下可以連續工作時間不低于1小時。

采用鉑熱電偶直接測定樣品附近溫度。

樣品可以工作在大氣、真空、氣氛環境下加熱。

配備真空泵，水冷設備，配備超溫、缺水、過流等報警保護裝置。

溫度均勻區：60mm*100mm。

六、試驗

七、產品應用

八、技術指標