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泰斯邁
主營產品： 半導體設備
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刻蝕機NLD-570
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發貨地 山東省青島市
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商品介紹
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品牌 愛發科
NLD-57023 NLD-5701
NLD-5701 13
NLD-57025 NL2
NLD-5702 31
NLD-5703 NL21
商品介紹
產品簡介：
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570，是搭載了愛發科開創的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實現高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產品應用：
? 光學器件（光衍射格子、変調器、光開關等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學結晶
研究開發向NLD干法刻蝕設備NLD-570，是搭載了愛發科開創的磁性中性線（NLD- neutral loop discharge）等離子源的裝置，此NLD技術可實現產生低壓、低電子溫度、高密度的等離子。。
產品特性：
NLD用于與ICP方式相比更低壓、高密度、更低電子溫度等離子體的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工
? 高硬玻璃、硼硅酸玻璃等不純物的多種玻璃加工，在形狀或表面平滑性方面有優異的刻蝕性能
? 石英及玻璃作為厚膜resist mask時的也可實現深度刻蝕（100μ m以上）
? 可實現高速刻蝕（石英＞1μ m/min、Pyrex＞0.8μ m/min）
? 可追加cassette室
產品應用：
? 光學器件（光衍射格子、変調器、光開關等等）、凹凸型微透鏡
? 流體路徑作成或光子學結晶
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公司名稱 泰斯邁
手機 㜉㜋㜌㜊㜈㜋㜈㜌㜋㜊㜈
地址 山東省青島市
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