s8030系列

◆ 單軌高速三維錫膏檢測系統

◆ PSLM PMP 可編程相位輪廓調制測量技術

◆ 檢測項目：體積，面積，高度，XY偏移，形狀

◆ 檢測不良類型：漏印，多錫，少錫，連錫，偏移，形狀不良

◆ 最小檢測元件：01005（英制）

◆ XY定位精度：1um Grating ruler

◆ 重復性精度：高度<1um(4sigma)；面積/體積<<1%(4sigma)

◆ 460x460mm 檢測面積

◆ 超高幀數高精度工業相機

◆ 檢測速度：0.3秒/FOV

◆ Mark點識別：0.5秒/個

◆ 最大檢測高度：+/-550um （+/-1200um為選件）