伺服系統精度指伺服系統輸出量偏離輸入量的程度。伺服驅動器精度以動態誤差、穩態誤差和靜態誤差三種形式表示。伺服系統允許的偏差一般都在0．01～0．001mm，高精度伺服系統的偏差可達到±0．0001一±0．00005mm。伺服系統對分辨率也有一定的要求，系統分辨率取決于系統穩定工作性質和所使用的位置檢測元件。目前的閉環伺服系統都能達到1um的分辨率，同時數控測量裝置的分辨率可達0.1um。伺服驅動器擁有的檢測裝置可以保證信號不失真。由于被控對象各不相同，伺服驅動器精度分類也就不同。比如在機床定位控制中，伺服系統精度主要是定位精度；液位控制系統中的液位精度；溫度控制系統中的溫度精度等。