京邁研3424  氮化鉭靶材  TaN磁控濺射材料 電子束鍍膜蒸發料 

【參數說明】

支持靶材定制，請提供靶材產品的元素、比例（重量比或原子比）、規格，我們會盡快為您報價！！ 

【產品介紹】

ε氮化鉭為黑色六方結晶。相對密度13.4；熔點3090℃；顯微硬度1100kg/m2；熱導率9.54W/  m·K  ，電阻率128μΩ·cm。δ氮化鉭為黃綠色結晶，屬氯化鈉型結晶，相對密度15.6。晶格常數a=0.4336nm，c=0.4150nm，熔點2950℃，顯微硬度3200kg/mm2，轉化點溫度17.8K。不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氫氧化鉀并分解釋放出氨。加熱至2000℃即釋放出氮氣。

【關于我們】

服務項目：靶材成份比例、規格、純度均可按需定制。科研單位貨到付款，質量保證，售后無憂！

產品附件：發貨時產品附帶裝箱單/質檢單/產品為真空包裝

適用儀器：多種型號磁控濺射、熱蒸發、電子束蒸發設備 

質量控制：嚴格控制生產工藝，采用輝光放電質譜法GDMS或ICP光譜法等多種檢測手段，分析雜質元素含量保證材料的高純度與細小晶粒度；可提供質檢報告。 

加工流程：熔煉→提純→鍛造→機加工→檢測→包裝出庫

陶瓷化合物靶材本身質脆且導熱性差，連續長時間濺射易發生靶裂情況，綁定背靶后，可提高化合物靶材的導熱性能，提高靶材的使用壽命。我們強烈建議您，選購陶瓷化合物靶材一定要綁定銅背靶！

我公司采用高純銦作為焊料，銦焊厚度約為0.2mm，高純無氧銅作為背靶。

注  ：高純銦的熔點約為156℃，靶材工作溫度超過熔點會導致銦熔化！綁定背靶不影響靶材的正常使用！

建議：陶瓷脆性靶材、燒結靶材，高功率下濺射易碎，建議濺射功率不超過3W/cm2。

我公司主營金屬靶材、陶瓷靶材、合金靶材，歡迎您的垂詢。