簡介：

真空負壓系統：是東莞市豫德機電設備有限公司(簡稱“豫德真空”)近期推出的由真空泵、PLC程序控制系統、儲氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空負壓系統。目前，該系統廣泛應用于電子半導體業、光電背光模組、機械加工等行業。

豫德真空負壓系統出廠時已經包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數據顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需現場進行簡單的連接電源和管道,即可組成一個完整的真空負壓系統。該真空負壓系統的控制系統由先進的PLC控制系統經過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現對真空負壓系統、工件行走、磁控靶、工藝設定和執行、報警保護系統等的全自動化控制。

特點：

真空負壓系統自啟動后，全部運行過程可以實現全自動控制。在工作中，真空負壓系統內各處的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始終在其允許范圍內上下波動，其波動范圍可根據設備需求進行調整。使用螺桿真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵及水環真空泵真空負壓系統能完全滿足流程工藝。

工作原理：

啟動系統，主真空泵組開始工作，直到真空罐內真空度達到設定的上限值，真空泵自動停止運行，中央真空負壓系統內的真空由管路上的真空止回閥自動截止而得到維持。如因工作需求真空罐內真空度下降并低于設定的下限值時，備用真空泵組自動啟動。由此循環往復，真空負壓系統的真空度能夠維持穩定的真空源，滿足生產的要求。