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真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點

真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)

1．配置與氣路控制

真空箱：一般為雙工位，兩個不銹鋼真空箱，開門裝置可采用液壓方式，或加配重的手動方式。

工件抽空系統(tǒng)：低真空泵及閥門，低真空測量充氮與回收系統(tǒng)：氦氣儲存罐(高壓罐)，氦氣回收取罐(低壓罐)，主壓縮機，輔壓縮機，過濾器以及一些高壓閥和真空閥門等。

真空箱抽氣系統(tǒng)：為自動控制型，由面板、PLC系統(tǒng)(可編程邏輯控制器)，充氦回收系統(tǒng)，真空箱抽氣系統(tǒng)的電路部分以及為自動檢漏過程提供參考信號的壓力傳感器和熱偶計，同時，實施對整個系統(tǒng)的工作控制，對檢漏過程和結(jié)果顯示。

2.系統(tǒng)檢測過程

1)、通過v1、V4，泵系統(tǒng)對工件和真空箱抽真空，如果限定的時間內(nèi)抽到限定的真空度，此時，電氣控制系統(tǒng)關(guān)閉V1，打開V2

2)、充氦系統(tǒng)通過V2對工件進行充氦至核定的壓力，穩(wěn)定，關(guān)閉V2

3)、關(guān)閉V4，打開V3、V5，處在正常工作狀態(tài)待命的氦質(zhì)譜檢漏儀進行檢漏，如果不漏，電氣控制系統(tǒng)指揮關(guān)斷V3、V5，打開V2對氦氣進行回收。

4)、關(guān)閉V2打開V6對真空箱放氣，開啟真空箱更換工件。

5)、如果第三點檢漏儀檢測到超過設(shè)定值(漏率)的工件，檢漏儀聲光報警，將：工作內(nèi)的氦氣回收,對真空箱和管道巾的氦氣通過清潔泵抽除，免得影響檢漏儀的檢測效果和不污染檢漏儀。

6)、維持泵有一定的氦分流作用,不宜過大(不超過41),清潔泵也同樣。

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氦氣

氦氣的化學(xué)性質(zhì)相對來說比較穩(wěn)定。不易發(fā)生反應(yīng)、等，操作過程安全。在一些比較值錢的設(shè)備：例如飛機、宇宙飛船等都喜歡用氦氣檢漏。氦氣穩(wěn)定。當(dāng)然也可用氫氣檢漏，但是氫氣，容易引發(fā)事故，用氫氣檢測嚴禁吸煙，遠離煙火。但用氦氣檢漏成本較貴，單瓶1000元左右。

氦氣穿透能力強，且易，對漏點有很好的檢出能力，可讓細微小洞無處可逃。氦氣檢漏就是采用氦氣來檢查電子元器件封裝管殼上的小漏洞。因為氦原子的尺寸很小。用氦氣穿過小洞而進入到管殼內(nèi)部，氦氣檢漏方法能夠檢測出尺寸很小的小洞，靈敏度可與性檢漏方法匹敵，但要比性檢漏方法簡便。

氦質(zhì)譜檢漏儀

鐘罩法

將氦質(zhì)譜檢漏儀與試件用真空橡皮管連接，在試件上用密閉的容器罩住，在容器里充入氦氣，檢漏儀開始檢漏，如果試件有漏點，儀器就可以顯示其漏率;這種方法可以測量液體儲料罐的漏率，在罐體外罩氦罩采用塑料薄膜，對罐體進行粗抽和預(yù)抽，在用標(biāo)準漏孔校對檢漏儀，對氦罩進行充氦，就可以測出罐體的漏率

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