化學氣相沉積CVD備件 HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX
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化學氣相沉積CVD備件-HORIBA氣體流量控制器SEC-Z543KVX

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品牌 HORIBA
產地 日本
適用設備 氣相沉積設備
型號 SEC-Z533KVX NF3:40SLM
生產年份 2007
商品介紹

品名:氣體流量控制器(舊)

產地:日本產

用途:安裝在氣相沉積設備中,自動調節和控制氣體流量

原理:采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節閥門,閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等,便實現了質量流量控制器的功能

功能:安裝在氣相沉積設備中,自動調節和控制用于控制氣體流量

品牌:HORIBA

型號:SEC-Z543KVX_N2:120SLM



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公司名稱 上海磊微科學儀器有限公司
聯系賣家 俞女士
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地址 上海市