意大利BDiscom等離子矩陣Plasma-Matrix-Plus
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意大利BDiscom等離子矩陣Plasma Matrix Plus
等離子矩陣和超級等離子矩陣
價格競爭力的臺式 RF 13.56 MHz 等離子反應器系統系列,適用于研發或小型工業試生產中的大部分清潔/蝕刻工藝(2.5 至 40 升 SS 304 真空室)
Plasma Matrix 和 Super Plasma Matrix 臺式等離子反應器旨在滿足大部分等離子清潔、蝕刻和表面活化的研發和工業應用,其中初始機器投資必須保持在非常低的水平。
意大利BDiscom等離子矩陣Plasma Matrix Plus
工具軟件的簡單和友好的使用(通過 LCD 觸摸屏顯示器)以及 Matrix 系列的 SS 真空室的優化設計,使它們處于當今市場提供的水平。
Bdiscom Matrix 等離子反應器系列包括根據不同研發和工業應用的要求保持等離子工藝穩定和可重復所需的所有功能。
目前有兩個版本的 Plasma Matrix:
- Plasma Matrix Plus 配備 2.5 升 SS 真空處理室、兩個進氣口和手動感應手動加工網絡,配備高達 200 瓦 RF @ 13.56 MHz 發生器
- Super Plasma Matrix配備 40 升 SS 真空處理室、兩個進氣口和一個全電容式自動阻抗匹配網絡,配備高達 300 瓦 RF @ 13.56 MHz 發生器。