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六甲基二硅氮烷

中文別名：六甲基二硅亞胺; 1,1,1,3,3,3-六甲基二硅氮烷; 六甲基二硅胺烷; HMDS

分子式 C6H19NSi2

分子量 161.39

CAS號 999-97-3

EINECS號 213-668-5

密度： 0.765

熔點： -78℃

沸點： 125℃

閃點： 20℃

性 狀 無色透明液體、無毒、略帶胺味。

用途：為阿米卡星藥用中間體，是羥基及氨基保護劑；特種有機合成。阿米卡星、盤尼西林、頭孢霉素、氟尿嘧啶及各種青霉素衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導體工業中光致刻蝕劑的粘結助劑。

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