1、簡單、經(jīng)濟(jì)、可靠、外觀精美。

2、可調(diào)節(jié)濺射電流和真空室壓強(qiáng)以控制鍍膜的速率和顆粒的大小。

3、SETPLASMA手動啟動按鈕可預(yù)先設(shè)置好壓強(qiáng)和濺射電流避免對膜造成不必要的損傷。

4、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路。

5、同時可以通過更換不同的靶材（金、鉑、銥、銀、銅等），以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

6、通過通入不同的惰性氣體以達(dá)到更純凈的涂層。

7、獨(dú)立的濺射、蒸發(fā)上蓋和玻璃腔體防止交叉污染。

8、一體機(jī)更加經(jīng)濟(jì)實惠。

9、碳纖維繩更加細(xì)膩均勻、快速，更有利于分析材料結(jié)構(gòu)。

10、濺射蒸發(fā)功能轉(zhuǎn)換方便快捷。

參數(shù)：

2 儀器尺寸 ：主機(jī)  300mm×360mm×380mm（W×D×H）

               蒸鍍  300mm×360mm×160mm（W×D×H）

2 真空樣品室： 硼硅酸鹽玻璃 160mm×110mm（D×H）

2 靶（上部電極）：50mm×0.1mm（D×H）

2 濺射靶材：Au

2 濺射靶材大小：φ50mm

2 樣品臺：50mm (D)

2 濺射工作電壓：0-1600V (DC)可調(diào)

2 濺射電流：0-50mA

2 濺射定時：0-360S

2 蒸碳電流  0-100A(AC)

2 蒸發(fā)材料：碳纖維

2 蒸發(fā)工作電壓：0-30V

2 蒸發(fā)時間：0-1S

2 微型真空氣閥：可連接φ3mm軟管

2 可通入氣體： 多種

2 真空泵：  2升機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵（國產(chǎn)VRD-8）