基本功能：SZT-H型金屬質(zhì)量電阻率測試臺配以四探針儀器構(gòu)成成套測試系統(tǒng)，是運用四端子測量原理的專業(yè)測量金屬箔類（質(zhì)量）電阻率/方阻的多用途綜合測量裝置。（以下簡稱測試臺）

   基本組成：測試臺測試電極組、升降臺、支架、連接線纜等部件組成。

   配套與兼容：本測試臺兼容本公司所有臺式四探針測試儀器。本測試臺可兼容國內(nèi)同行絕大多數(shù)四探針電阻率/方阻測試儀器。

   優(yōu)勢特征：SZT-H質(zhì)量電阻率測試臺符合國標《GB/T 5230-1995》中對金屬箔類質(zhì)量電阻率測試要求，測試電極采用銅質(zhì)刀架制成，故定位準確、游移率小、接觸良好；測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測量簡便等特點。

   儀器適用于金屬薄膜材料廠、半導(dǎo)體薄膜材料廠、橡塑材料廠、電容器廠、科研單位、高等院校等對半導(dǎo)體或金屬薄膜材料的方阻、電阻率性能的測試。特別適用于要求快速測量中低方阻及要求結(jié)果分選的場合。

  ST2258A型多功能數(shù)字式方阻測試儀能夠測量普通電阻器的電阻（修正系數(shù)1.000）和半導(dǎo)體、導(dǎo)體薄膜的方塊電阻，（需調(diào)整不同的修正系數(shù)）。

  1. 操作概述

  (1) 測試準備：

  電源開關(guān)置于斷開位置，將電源插頭插入電源插座。對于金屬箔類樣品、非金屬薄膜樣品，將SZT-H測試臺的測試插頭與主機的輸入插座連接起來,參照國標《GB/T 5230-1995》中，制備測試時樣品，長L₀=330mm,寬W=25mm； 對于電阻測量，用四端子測量線作輸入線，按圖3-2所示夾持好樣品。調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度使之達到要求的測試條件。將電源開關(guān)置于開啟位置，數(shù)字顯示窗亮。如圖1-1

                      圖1-1 連機操作

  (2) 參數(shù)設(shè)定：

儀器開機默認狀態(tài)為“設(shè)定” 模式，ST2258A面板示意圖，窗口左側(cè)“設(shè)定”模式燈亮，通過鍵盤輸入需要的修正系數(shù)。儀器默認修正系數(shù)F=1.000,即電阻測量方式可直接切換到“測量”模式而不需設(shè)定修正系數(shù)。否則需要輸入需要的修正系數(shù)，如需要分選功能的輸入各分選界限值，不需分選功能，不輸入各分選界限值不影響測試，顯示分選結(jié)果無意思。

  (3)測量：（金屬箔類樣品）

設(shè)定完畢，切換儀器到“測量”模式。窗口左側(cè)“測量”模式燈亮，按照標準制取樣品，長度330mm,寬25mm.如圖1-2

        圖1-2金屬箔類樣品圖       

              圖1-3A                              圖1-3B

   如圖1-3A，將SZT-H測試臺頂端快速扳手向上向后打到底，抬起測試電極組。將樣品平展置于測試臺底板上，注意，樣品長軸方向與電極刀刃方向垂直，樣品寬度在刀刃長度范圍之內(nèi)。如圖0-3B，向前向下壓下快速扳手，壓下測試電極組，保持電極刀口與樣品適當壓力，良好接觸，由數(shù)字顯示窗直接讀出測量值和分選結(jié)果。

   注意：刀刃對樣品的壓力調(diào)整方式是，調(diào)節(jié)測試臺后側(cè)導(dǎo)軌支架中部螺桿上的螺母（先松開鎖緊螺帽），觀察電極上方導(dǎo)向螺桿伸出程度，一般以1cm左右為宜，壓力調(diào)好后，鎖緊鎖緊螺帽。

如圖 1-4

              圖1-4 測試壓力調(diào)整螺母示意圖          

  注意：

  1 測試臺底板、測試電極及樣品要保持清潔，以免接觸不良和漏電影響測試準確性。

  2 對于測試前期樣品有預(yù)處理要求的，如清洗，烘干，需要樣品盒一起進行的，不得接觸對電極材料有腐蝕性的清洗劑，烘烤溫度不得高于150℃，對于因高溫引起電極表面氧化嚴重的，可能影響測試導(dǎo)通的，要用細沙紙輕檫表面以清除表面氧化層。

1.1 測量范圍、分辨率

      圖1-1A(測試臺膜寬與方阻測量范圍)      圖1-1B(測試臺截面與電阻率測量范圍)

（1）方阻測試范圍*（以配SZT-H測試臺為例）

測量膜寬：1mm≤B≤50mm

基本方阻測量值： 1.0×10^-6～ 1.2×10³ Ω/□， 分辨率：1.0×10^-7～ 1.0×10⁰ Ω/□。

具體膜寬w與測量范圍關(guān)系見圖1-1A。

（2）電阻率測試范圍（以配SZT-H測試臺為例）

（厚度d<10mm,寬w<50mm）

基本電阻率測量值： 1.0×10^-6～1.2×10³ Ω*cm， 分辨率：1.0×10^-7～1.0×10⁰ Ω*cm。

具體截面s與測量范圍關(guān)系見圖1-1B。

1.2 SZT-H測試刀架：

⑴電壓刀片間距：150mm±0.2% ，刀刃長60mm

⑵電流刀片間距： 300mm，刀刃長60mm

⑶測試臺架外型尺寸：380×200×260（長×寬×高）

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