PVA TePla 等離子去膠機

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       該系列等離子去膠機外觀簡潔，系統高度集成化，采用模塊化設計，可應用與半導體、生物技術、材料等各個領域。其性能提供了出色的工業控制、失效報警系統和數據采集軟件。可滿足科研、生產等領域嚴格的控制要求。
        PVA TePla公司的高品質、高性價比、操作簡單的等離子去膠機為各種不同應用領域提供了解決方案，得到用戶的廣泛信賴。

規格參數：
2.45GHz風冷微波電源（0～600W/0-1000W可調）/13.56MHz風冷射頻電源（0～600W/0～300W/0～1000W可調）
石英/鋁/陶瓷腔體，
zui多6路工藝氣體，高精度不銹鋼防腐蝕MFC控制，
1路保護性回填氣體，1路驅動氣體
兼容8英寸及以下晶圓
PC工控機控制，運行數據實時監控、存儲
操作分級權限管理操作，防止誤操作
圖形化觸控屏操作，運行狀態實時顯示
外形尺寸：775×749×781 mm / 737×1980×1118 mm
重量：134KG/ 350KG

可選配置：
可選配干泵、旋片泵、渦輪泵、羅茨泵
可選配法拉第桶
可選配水冷溫控裝置（冷卻板、液體循環機）
可選配壓力控制系統（1%精度真空規、壓力控制系統）

應用領域:
去除光刻膠 
去除殘膠 
SU-8灰化
晶圓和襯底的清潔
氮化硅、聚酰亞胺等的刻蝕
刻蝕鈍化層 
逆向分析/失效分析中的器件開封
微量分析中低溫材料灰化

公司主要研發、制造和銷售的檢測儀器有：電壓擊穿試驗儀、高壓漏電起痕試驗儀、耐電弧試驗儀、鐵電材料測試儀器、介電常數及介質損耗測試儀、表面及體積電阻率測試儀、壓電材料測試儀器、熱電材料測試儀器、絕緣材料電性能檢測設備、高溫管式爐\反射爐\氣氛爐、高溫電性能測試設備、EST靜電檢測儀器、硅橡膠\絕緣子行業測試設備、PCB\三防漆電子材料測試、電氣薄膜電學檢測儀器、高低壓電氣材料測試設備、電線電纜行業電學測試設備、高分子材料電學測試儀器、熱分析儀器、電氣安規檢測儀器、半導體芯片類測試儀器等，可接定制儀器訂單。