水環真空機組以羅茨泵為主泵，以水環泵為前級泵串聯而成的。水環真空機組選用的水環泵成為前級泵比其它的真空泵更為有利，因為它不但克服了單臺水環泵使用時極限壓力差（機組的極限壓力比水環泵的極限壓力有很大的提高），在一定壓力下抽氣速率低的缺點，而且與此同時又保留了羅茨泵能迅速工作，有比較大抽氣速率的優點。它能夠適應抽除大量的可凝性蒸汽，尤其是當氣鎮油封機械真空泵排除可凝性蒸汽能力不夠，或使用的溶劑能使泵油惡化進而影響性能，或者是真空系統不允許油污染時更為明顯。如果配有防爆電機及電器時并遵守相應的安全規則下,還能夠抽除易燃易爆的氣體。

真空泵機組工作原理 倘若三級水環機組還是不能滿足極限壓力的時候，我們可以采用水環泵并聯機械真空泵。這個機組主要用于需要處理大量水蒸汽，時間長且極限真空度要求非常高的抽真空系統，比如在真空干燥方面。 如果要求處理大量水蒸汽的真空系統中，使用水環泵是比較合適的，但是因為其極限真空度不高，而導致整個機組的極限真空度較低（這個只是相對而言）。雖然在要求真空度較高的抽真空系統中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。可以把氣鎮機械真空泵與水環泵并聯，作為泵的前級泵。真空干燥時，先用水環泵進行預抽，直到它的水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮機械真空泵，切斷水環泵。如果需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都比較少。